Лазерный сканирующий микроскоп KEYENCE VK-X
Лазерный сканирующий микроскоп KEYENCE VK-X


Лазерный микроскоп VK-X формирует изображение путем сканирования поверхности объекта лазерным лучом. Используется 16-bit ФЭУ отраженного лазерного луча. Позволяет формировать 3D картинку поверхности с точностью до 0,5 нм.


Особенности:

  • 16-битный фотоумножитель.
  • Увеличенное рабочее расстояние.
  • Высоко-скоростное сканирование на частоте до 7900 Гц.
  • Встроенная антивибрационная защита.

Технические характеристики:

Апохроматические объективы

10х, 20х, 50х/0,95, 150х/0,95

Моторизованный оптический zoom

от 1х до 8х

Суммарное увеличение

до 24.000х

Разрешение по Z

0,0005мкм (повторямость 0,012мкм*)

Диапазон измерений по Z

7мм

Разрешение по XY

0,001мкм (повторямость 0,02мкм*)

Размер цветной CCD камера со сверх высоким разрешением (3072х2304)

1/3”

Возможность увеличения

Увеличение объектива 150х, соотношение размеров матрицы и монитора 20х даёт увеличение 3000х + промежуточный оптический ZOOM даёт увеличение до 8х, итого 24000х крат

*Повторяемость определялась экспериментально путём многократного измерения дифракционной решетки (расстояние между линиями на стандартном образце 1 мкм, объектив 150х/0,95)
Повторяемость определялась экспериментально путём многократного измерения стандарта глубины 2 мкм (объектив 50х/0,95)

Лазерный сканирующий микро­скоп удобен при оперативном контроле на нано-уровне, так как не требует вакуумной системы и пред­варительной подготовки образца (необходимые условия при использовании электронного микроскопа).

По сравнению с оптическими микро­скопами лазерные сканирующие микроскопы имеют большую глубину фокуса, обеспечивает 3-D изображе­ния и цветные изображения с хоро­шим увеличением, измеряет толщину пленок прозрачных объектов.

Микроскоп Keyence VK-X100/X200 имеет увеличение от 200х до 24000х крат и разрешение 0,5 нанометров.

Keyence серии VK-X - совмещают цифровой оптический микроскоп, конфокальный микросокоп (разрешение и глубина резкости как у электронного микроскопа) и ЗD лазерный профилометр с возможностью измерения с точностью до 0,5 нм.

Программное обеспечение имеет интуитивно-простой в освоении интерфейс и позволяет:

  • Измерять высоту, ширину, поперечное сечение, угол или радиус любого выбранного пользователем профиля в разрезе;
  • Выполнять бесконтактное измерение в XYZ координатах, измерения в 3D, профилометрию, неровности любой линии, а также шероховатости с большой точностью на выбранном участке объекта;
  • Измерять объем, площадь поверхности и отношение участка к площади поверхности объектов;
  • Проводить автоматические измерения высоты и ширины структур;
  • Сравнивать наложением изображения с измерением различий объектов;