Атомно-силовой микроскоп Park NX20
|
Высокоточный атомно-силовой микроскоп Park NX20 – самый лучший инструмент в нанометрологии для анализа дефектов и исследования крупных образцов.
|
- Идеальный выбор для анализа дефектов
- Прост в работе даже для молодого специалиста
- Предметный столик с функцией наклона для получения подробных изображений боковин (боковых стенок)
- Стандартное изображение
- Электрические свойства
- Общие свойства
- Лидирующий в отрасли малошумный Z-детектор
Модель ParkNX20 имеет репутацию самого точного АСМ в мире для анализа крупных образцов, поэтому он получил широкое распространение в индустрии жестких дисков и полупроводников
Данный АСМ оснащается компонентами уникальной конструкции, которые облегчают использование микроскопа при поиске дефектов устройств. Непараллельная конструкция обеспечивает получение данных с высоким разрешением, которые позволяют Вам уделить основное внимание решению исследовательских задач. Режим True Non-ContactТМ делает работу зонда более четкой и продолжительной, это экономит Ваши время и деньги на обслуживание.
Park NX20 имеет самый удобный дизайн и автоматизированный интерфейс в индустрии, поэтому не потребуется тратить много времени и сил при работе с микроскопом и для обучения молодых специалистов.
Инновационная конструкция NX20 позволяет рассмотреть боковину и поверхность образца, измерить угол наклона профилей. АСМ становится еще более универсальным инструментом для проведения исследовательских работ и глубокого изучение внутренних деталей образца.
– Угол наклона: 10,15 и 20 град.
– Размер образца: 20×20 мм
– Толщина образца: 2 мм
– True Non-Contact AFM (реальный бесконтактный режим АСМ)
– PinPoint™ AFM
– Basic Contact AFM (основной контактный режим АСМ)
– Латеральная силовая микроскопия (LFM)
– Фазовое изображение
– Прерывистый (полуконтактный) режим АСМ
– Сканирующая емкостная микроскопия (SCM)
– Режим проводимости АСМ (ULCA и VECA)
– Электрическая силовая микроскопия (EFM)
– Пьезоэлектрическая силовая микроскопия (PFM)
– Сканирующая микроскопия с зондом Кельвина (SKPM/KPM)
– Магнитная силовая микроскопия (MFM)
– Сканирующая температурная микроскопия (SThM)
– Силовая спектроскопия F-D
– Сканирующая туннельная микроскопия (STM)
– Силовая модулирующая микроскопия (FMM)
– Наноидентификация
– Нанолитография
– Наноманипуляция
Атомно-силовые микроскопы оснащены самыми эффективными в отрасли Z-детекторами с низким уровнем шума. Уровень шума не превышает 0,02 нм в широком диапазоне частот. Это позволяет выполнять топографическое измерение образца с высокой точностью, без смещения краев и калибровки. Поэтому Park NX20 экономит время и выдает отличные данные.
| Сканер | Латеральный сканер XY | Z сканер |
|---|---|---|
|
Консольный одномодульный XY-сканер с замкнутым контуром управления Сканирующий диапазон: 100 мкм×100 мкм (50 мкм×50 мкм, 25 мкм×25 мкм) 20-битный контроль положения и 24-битный датчик положения |
Направляющий консольный силовой сканер Сканирующий диапазон: 15 мкм (30 мкм) 20-битный контроль положения и 24-битный датчик положения |
|
| Обзор | Линза объектива | |
|
Прямой осевой обзор поверхности образца и кантилевер В сборе с линзой объектива 10× (линза с 20-кратным увеличением предлагается дополнительно) Область обзора: 480×360мкм ПЗС: 1 Мегапиксель |
10×(0,21NA) линза со сверхдлинной рабочей дистанцией 20×(0,42NA) линза с длинной рабочей дистанцией высокого разрешения |
|
| Программа | NXP | NXI |
|
Контроль системы и программа получения данных Регулируемые параметры обратной связи в режиме реального времени Управление скриптами с помощью внешних программ (дополнительно) |
Программа для анализа данных АСМ | |
| Электроника | Обработка сигнала | Встроенные функции |
|
ADC: 18 каналов 4 высокоскоростных ADC канала (64 MSPS) 24-битный ADC для датчика положения сканера X, Y и Z DAC: 12 каналов 2 высокоскоростных DAC канала (64 MSPS) 20-битный DAC для позиционирования сканера X, Y и Z Максимальный размер данных: 4096×4096 пикселей |
3 канала гибкого цифрового фиксирующего усилителя Постоянная калибровка пружины (температурный метод) Цифровое Q-управление |
|
| Предметный столик | ||
|
Диапазон перемещения XY: 150 мм (200 мм в качестве опции) Диапазон перемещения Z: 25 мм Диапазон перемещения фокусировки: 15 мм Точное кодирующее устройство для всех осей (в качестве опции) |
||
| Крепление образца | ||
|
До 150 мм (в качестве опции 200 мм) Вакуумные прорези для удерживания подложек образцов |
||
| Доступ внешнего сигнала | ||
|
20 встроенных портов ввода/вывода 5 TTL выводов: EOF, EOL, EOP, модуляция и смещение АС |
Дополнительные принадлежности:
- Пластины для образцов
- Акустическая камера с температурным контролем
- Ручной пробник для жидкостей
- Жидкостные элементы
- Столики с температурным контролем
- Внешний модуль с функцией наклона
- Модуль доступа сигнала
