Атомно-силовой микроскоп Park NX20
атомно-силовой микроскоп Park NX20

Высокоточный атомно-силовой микроскоп Park NX20 – самый лучший инструмент в нанометрологии для анализа дефектов и исследования крупных образцов.

  • Анализ дефектов полупроводников
  • Сканирующий диапазон: 100 мкм×100 мкм (50 мкм×50 мкм, 25 мкм×25 мкм)
  • Предметный столик с функцией наклона
  • Режим True Non-Contact (реальный бесконтактный режим АСМ)
  • Автоматизированный интерфейс
  • Z-детектор с низким уровнем шума



Особенности:
  • Идеальный выбор для анализа дефектов
  • Модель ParkNX20 имеет репутацию самого точного АСМ в мире для анализа крупных образцов, поэтому он получил широкое распространение в индустрии жестких дисков и полупроводников
    Данный АСМ оснащается компонентами уникальной конструкции, которые облегчают использование микроскопа при поиске дефектов устройств. Непараллельная конструкция обеспечивает получение данных с высоким разрешением, которые позволяют Вам уделить основное внимание решению исследовательских задач. Режим True Non-ContactТМ делает работу зонда более четкой и продолжительной, это экономит Ваши время и деньги на обслуживание.
  • Прост в работе даже для молодого специалиста
  • Park NX20 имеет самый удобный дизайн и автоматизированный интерфейс в индустрии, поэтому не потребуется тратить много времени и сил при работе с микроскопом и для обучения молодых специалистов.
  • Предметный столик с функцией наклона для получения подробных изображений боковин (боковых стенок)
  • Инновационная конструкция NX20 позволяет рассмотреть боковину и поверхность образца, измерить угол наклона профилей. АСМ становится еще более универсальным инструментом для проведения исследовательских работ и глубокого изучение внутренних деталей образца.
    - Угол наклона: 10,15 и 20 град.
    - Размер образца: 20×20 мм
    - Толщина образца: 2 мм
  • Стандартное изображение
  • - True Non-Contact AFM (реальный бесконтактный режим АСМ)
    - PinPoint™ AFM
    - Basic Contact AFM (основной контактный режим АСМ)
    - Латеральная силовая микроскопия (LFM)
    - Фазовое изображение
    - Прерывистый (полуконтактный) режим АСМ
  • Электрические свойства
  • - Сканирующая емкостная микроскопия (SCM)
    - Режим проводимости АСМ (ULCA и VECA)
    - Электрическая силовая микроскопия (EFM)
    - Пьезоэлектрическая силовая микроскопия (PFM)
    - Сканирующая микроскопия с зондом Кельвина (SKPM/KPM)
  • Общие свойства
  • - Магнитная силовая микроскопия (MFM)
    - Сканирующая температурная микроскопия (SThM)
    - Силовая спектроскопия F-D
    - Сканирующая туннельная микроскопия (STM)
    - Силовая модулирующая микроскопия (FMM)
    - Наноидентификация
    - Нанолитография
    - Наноманипуляция
  • Лидирующий в отрасли малошумный Z-детектор
  • Атомно-силовые микроскопы оснащены самыми эффективными в отрасли Z-детекторами с низким уровнем шума. Уровень шума не превышает 0,02 нм в широком диапазоне частот. Это позволяет выполнять топографическое измерение образца с высокой точностью, без смещения краев и калибровки. Поэтому Park NX20 экономит время и выдает отличные данные.


Технические характеристики:
Сканер Латеральный сканер XY Z сканер
Консольный одномодульный XY-сканер с замкнутым контуром управления
Сканирующий диапазон: 100 мкм×100 мкм (50 мкм×50 мкм, 25 мкм×25 мкм)
20-битный контроль положения и 24-битный датчик положения
Направляющий консольный силовой сканер
Сканирующий диапазон: 15 мкм (30 мкм)
20-битный контроль положения и 24-битный датчик положения
Обзор Линза объектива

Прямой осевой обзор поверхности образца и кантилевер
В сборе с линзой объектива 10× (линза с 20-кратным увеличением предлагается дополнительно)
Область обзора: 480×360мкм
ПЗС: 1 Мегапиксель
10×(0,21NA) линза со сверхдлинной рабочей дистанцией
20×(0,42NA) линза с длинной рабочей дистанцией высокого разрешения
Программа NXP NXI

Контроль системы и программа получения данных
Регулируемые параметры обратной связи в режиме реального времени
Управление скриптами с помощью внешних программ (дополнительно)
Программа для анализа данных АСМ
Электроника Обработка сигнала Встроенные функции

ADC: 18 каналов
4 высокоскоростных ADC канала (64 MSPS)
24-битный ADC для датчика положения сканера X, Y и Z
DAC: 12 каналов
2 высокоскоростных DAC канала (64 MSPS)
20-битный DAC для позиционирования сканера X, Y и Z
Максимальный размер данных: 4096×4096 пикселей
3 канала гибкого цифрового фиксирующего усилителя
Постоянная калибровка пружины (температурный метод)
Цифровое Q-управление
Предметный столик


Диапазон перемещения XY: 150 мм (200 мм в качестве опции)
Диапазон перемещения Z: 25 мм
Диапазон перемещения фокусировки: 15 мм
Точное кодирующее устройство для всех осей (в качестве опции)

Крепление образца


До 150 мм (в качестве опции 200 мм)
Вакуумные прорези для удерживания подложек образцов

Доступ внешнего сигнала


20 встроенных портов ввода/вывода
5 TTL выводов: EOF, EOL, EOP, модуляция и смещение АС

Дополнительные принадлежности:

  • Пластины для образцов
  • Акустическая камера с температурным контролем
  • Ручной пробник для жидкостей
  • Жидкостные элементы
  • Столики с температурным контролем
  • Внешний модуль с функцией наклона
  • Модуль доступа сигнала

* Опционально